静電チャック装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：西澤和純 , 佐藤彰雄 , 萩原綾夏
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-053393
公開番号（公開出願番号）：特開2019-165184
特許番号：特許第7020221号
出願日： 2018年03月20日
公開日（公表日）： 2019年09月26日
請求項（抜粋）：

【請求項1】セラミックスからなる静電チャック部材と、金属からなる温度調整用ベース部材とを、接合層を介して接合してなる静電チャック装置であって、前記温度調整用ベース部材の前記静電チャック部材側の面、または前記静電チャック部材の前記温度調整用ベース部材側の面のいずれか一方に、前記静電チャック部材を平面視した場合に多角形状のスペーサが複数個配設され、前記接合層に含まれるフィラーの最大粒子径が10μm以下であり、前記フィラーの粒度分布の累積体積百分率が90%のときの粒子径(D90)と前記フィラーの粒度分布の累積体積百分率が10%のときの粒子径(D10)の差(D90-D10)は4.5μm以下である静電チャック装置。

IPC (3件)：