ウェハ加熱装置用の接着剤及びこれを用いたウェハ加熱装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：名古屋国際特許業務法人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-085539
公開番号（公開出願番号）：特開2015-205955
出願日： 2014年04月17日
公開日（公表日）： 2015年11月19日
要約：

【課題】吸着支持部材の均熱性・平面度を高めることができる、信頼性に優れたウェハ加熱装置用の接着剤及びこれを用いたウェハ加熱装置、並びに接着剤を提供すること。【解決手段】接着剤40は、ベース部材と、ヒータが設けられた吸着支持部材とを備えたウェハ加熱装置に用いられ、ベース部材と吸着支持部材とを接合するためのものである。接着剤40は、少なくとも、マトリックス樹脂41と、マトリックス樹脂41中に分散された無機充填材42とを含有している。無機充填材42の少なくとも一部は、内部が中空状の中空粒子421である。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

ベース部材と、ヒータが設けられた吸着支持部材とを備えたウェハ加熱装置に用いられ、前記ベース部材と前記吸着支持部材とを接合するための接着剤であって、少なくとも、マトリックス樹脂と、該マトリックス樹脂中に分散された無機充填材とを含有し、該無機充填材の少なくとも一部は、内部が中空状の中空粒子であることを特徴とするウェハ加熱装置用の接着剤。

IPC (4件)：

C09J 201/00 , H01L 21/683 , C09J 11/04 , C09J 7/00

FI (5件)：

C09J201/00 , H01L21/68 R , H01L21/68 P , C09J11/04 , C09J7/00

Fターム (33件)：

4J004AA10 , 4J004AA13 , 4J004AA14 , 4J004AA18 , 4J004AB05 , 4J004BA02 , 4J004FA05 , 4J040DF001 , 4J040DG001 , 4J040EC001 , 4J040EF001 , 4J040EK031 , 4J040HA026 , 4J040HA066 , 4J040HA076 , 4J040JB02 , 4J040KA03 , 4J040KA05 , 4J040KA42 , 4J040LA08 , 4J040MA02 , 4J040NA20 , 4J040PA30 , 5F131AA02 , 5F131BA19 , 5F131EA03 , 5F131EB11 , 5F131EB14 , 5F131EB78 , 5F131EB79 , 5F131EB81 , 5F131EB82 , 5F131EB85

引用特許：

出願人引用 (8件)

表面加飾品及び表面加飾方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-311791 出願人：トリニティ工業株式会社, サンスター技研株式会社
ホットメルト接着剤
公報種別：公開公報出願番号：特願2006-224925 出願人：三洋化成工業株式会社
転写式感圧接着テープ
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-035160 出願人：フジコピアン株式会社

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審査官引用 (8件)

表面加飾品及び表面加飾方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-311791 出願人：トリニティ工業株式会社, サンスター技研株式会社
ホットメルト接着剤
公報種別：公開公報出願番号：特願2006-224925 出願人：三洋化成工業株式会社
転写式感圧接着テープ
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-035160 出願人：フジコピアン株式会社

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