特許
J-GLOBAL ID：202203006028202942
液滴検査方法および液滴検査装置
発明者：
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人あい特許事務所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-085714
公開番号（公開出願番号）：特開2019-192836
特許番号：特許第7057711号
出願日： 2018年04月26日
公開日（公表日）： 2019年10月31日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 複数の吐出口を有する液滴ヘッドから吐出される液体の液滴の状態を、計測ユニットを有する液滴検査装置を用いて検査する方法であって、 前記複数の吐出口から吐出される液滴を前記計測ユニットによって計測可能な計測位置であって、各吐出口から吐出される液滴が前記計測位置または当該計測位置の近傍位置を通過するような計測位置を、各吐出口に対応付けて登録する計測位置登録工程と、 前記液滴ヘッドに液体を供給しながら各吐出口から吐出される液滴を、当該吐出口に対応する前記計測位置において前記計測ユニットによって計測する液滴状態計測工程と、 前記液滴状態計測工程の計測結果に基づいて、各吐出口から吐出される液滴の状態を判定する液滴状態判定工程と、 前記複数の吐出口のうち、少なくとも2つの前記吐出口に対応する前記計測位置の登録を受け付ける受付工程とを含み、 前記計測位置登録工程が、 前記受付工程において受け付けられた内容と前記液滴ヘッドにおける前記複数の吐出口同士の位置関係とに基づいて、各吐出口に対応する前記計測位置を算出する計測位置算出工程と、前記計測位置算出工程によって算出された前記計測位置を個別に調整する計測位置調整工程とを含む、液滴検査方法。
IPC (4件)：
H01L 21/304 ( 200 6.01)
, B05C 5/00 ( 200 6.01)
, B05C 11/00 ( 200 6.01)
, B05C 11/10 ( 200 6.01)
H01L 21/304 648 G
, H01L 21/304 643 C
, H01L 21/304 643 A
, B05C 5/00 101
, B05C 11/00
, B05C 11/10
出願人引用 (7件)
全件表示
審査官引用 (7件)
全件表示
前のページに戻る
