カーボンナノチューブの製造装置および製造方法

発明者： , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (9件)：弁理士法人牛木国際特許事務所 , 牛木護 , 高橋知之 , 田中淳二 , 守屋嘉高 , 加藤裕介 , 齋藤麻美 , 中村聡 , 弁理士法人牛木国際特許事務所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2019-147941
公開番号（公開出願番号）：特開2021-028284
特許番号：特許第7158646号
出願日： 2019年08月09日
公開日（公表日）： 2021年02月25日
請求項（抜粋）：

【請求項1】カーボンナノチューブを合成する合成炉と、前記合成炉に前記カーボンナノチューブを合成するための触媒原料を供給する触媒原料供給ノズルと、前記触媒原料供給ノズルの内腔部の温度を前記合成炉の反応場の温度よりも高温に設定可能なノズル温度調整手段とを備え、前記ノズル温度調整手段が前記触媒原料供給ノズルの内部に設けられたヒーターであるカーボンナノチューブの製造装置。

IPC (3件)：