電解コンデンサ用電極箔およびその製造方法

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出願人/特許権者： , ,
代理人 (1件)：特許業務法人みのり特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2020-127027
公開番号（公開出願番号）：特開2022-024431
出願日： 2020年07月28日
公開日（公表日）： 2022年02月09日
要約：

【課題】光ナノインプリント法による電解コンデンサ用電極箔の製造方法の提供。【解決手段】電極箔表面にレジスト層を設け、このレジスト層に所定のパターンをパターンニングし、その後、エッチング液を用いて湿式電解エッチングを行う電解コンデンサ用電極箔の製造方法において、エッチング液耐性のあるレジスト層を形成するためのレジスト材料として、光重合開始剤と重合性化合物とを含有する光硬化性組成物であって、当該光重合開始剤が、ヨードニウム化合物もしくはスルホニウム化合物からなる光カチオン重合開始剤であり、重合性化合物の総重量に対して35重量%以上が、炭素原子および水素原子のみからなるエチレン性不飽和結合を含むカチオン重合性炭化水素化合物であり、前記光硬化性組成物に含まれるヘテロ原子の割合(ヘテロ原子含有百分率)が6.0以下であるものを使用する。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

電解コンデンサ用電極箔の製造方法であって、電極箔表面にレジスト層を設けるレジスト層形成工程と、前記レジスト層を所定のパターンにパターンニングするレジストパターン形成工程と、パターンニングされた前記レジスト層が形成された前記電極箔表面に対してエッチング液を用いて湿式電解エッチングを行う湿式電解エッチング工程とを含み、前記レジスト層を形成するために使用されるレジスト材料が、光重合開始剤と重合性化合物とを含有する光硬化性組成物であって、 (a)上記光重合開始剤が、ヨードニウム化合物もしくはスルホニウム化合物からなる光カチオン重合開始剤(A)であり、 (b)上記重合性化合物の総重量に対して35重量%以上が、炭素原子および水素原子のみからなるエチレン性不飽和結合を含むカチオン重合性炭化水素化合物(B)であり、さらに、 (c)下記の式(1)に基づき計算される、上記光硬化性組成物に含まれるヘテロ原子の割合を表したヘテロ原子含有百分率: ヘテロ原子含有百分率=100×Σ(Nh i ×M i )/Σ{(Nh i +Nc i )×M i } (1) [式中、Nh i は光硬化性組成物中の各成分に含まれるヘテロ原子の数であり(但し、ここでいうヘテロ原子とは、炭素原子および水素原子を除いた全ての原子である)、Nc i は光硬化性組成物中の各成分に含まれる炭素原子の数であり、M i は光硬化性組成物に占める各成分の物質量の分率を示し、ΣM i =1であり、i は光硬化性組成物に含まれる成分の種類の数を表し、1以上の整数を示す。] が6.0以下であることを特徴とする電解コンデンサ用電極箔の製造方法。

IPC (5件)：

H01G 9/00 , H01G 9/055 , C08F 4/00 , C08F 2/50 , H01L 21/027

FI (5件)：

H01G9/00 290D , H01G9/055 , C08F4/00 , C08F2/50 , H01L21/30 502D

Fターム (11件)：

4J011QA09 , 4J011QA19 , 4J011SA72 , 4J011SA87 , 4J011UA01 , 4J011VA01 , 4J011WA01 , 4J015EA02 , 4J015EA03 , 5F146AA31 , 5F146JA20

引用特許：

出願人引用 (1件)

特開昭61-51817号公報

審査官引用 (8件)

特許第7150767号
光ナノインプリント用硬化性組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願2016-189499 出願人：サンアプロ株式会社, 国立大学法人東北大学
特開昭63-220512

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