特許
J-GLOBAL ID:202203009140173954
ガスセンサ
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (2件):
鎌田 耕一
, 古田 昌稔
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2022-063736
公開番号(公開出願番号):特開2022-091977
出願日: 2022年04月07日
公開日(公表日): 2022年06月21日
要約:
【課題】ガス濃度が低いときにも、確実にガスを検出することの出来るガスセンサを提供する。
【解決手段】ガスセンサ100は、基板10と、基板の上に配置された第1の導電体20及び第2の導電体25と、絶縁層40と、吸着材層30と、を備える。絶縁層40は、第1の導電体20及び第2の導電体25を被覆するとともに、第1の導電体20の表面の一部を露出させる第1の開口部45と、第2の導電体25の表面の一部を露出させる第2の開口部46とを有する。吸着材層30は、導電材料とガスを吸着することができる有機吸着材とを含み、第1の開口部45及び第2の開口部46を通じて、第1の導電体20及び第2の導電体25のそれぞれに接触している。
【選択図】図1
請求項(抜粋):
基板と、
前記基板の上に配置された第1の導電体及び第2の導電体と、
導電材料と、ガスを吸着することができる有機吸着材とを含み、前記第1の導電体及び前記第2の導電体のそれぞれに接触している吸着材層と、
前記基板の表面を取り囲んでいる第1壁部と、
を備えた、ガスセンサ。
IPC (1件):
FI (1件):
引用特許:
出願人引用 (1件)
審査官引用 (5件)
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