特許
J-GLOBAL ID：202203011031914329
型を用いて基板上の組成物を成形する成形装置、および物品の製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
阿部 琢磨
, 黒岩 創吾
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-033763
公開番号（公開出願番号）：特開2019-149482
特許番号：特許第7059046号
出願日： 2018年02月27日
公開日（公表日）： 2019年09月05日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 型を用いて基板上の組成物を成形する成形装置であって、 基板を保持して移動するステージと、 供給部によって供給された液体を前記基板上に導く供給口と、前記基板上に供給された前記液体を回収部に向かって導く回収口とが設けられ、前記基板と対向する対向面を有する対向部と、 前記液体に接触した状態で前記液体に振動を印加する振動発生部と、を備えており、 前記対向面と平行な面における前記振動発生部の断面積は、前記対向面の面積よりも小さく、前記供給部は前記基板上に供給される前記液体が流れる流路を有し、前記振動発生部は前記流路内に配置され、前記対向面と平行な面における前記振動発生部の断面積は、前記対向面に平行な、前記流路の断面積よりも小さい、ことを特徴とする成形装置。
IPC (4件)：
H01L 21/027 ( 200 6.01)
, B29C 59/02 ( 200 6.01)
, B08B 3/02 ( 200 6.01)
, H01L 21/304 ( 200 6.01)
H01L 21/30 502 D
, H01L 21/30 503 G
, B29C 59/02 Z
, B08B 3/02 B
, H01L 21/304 643 B
, H01L 21/304 643 D
