特許
J-GLOBAL ID：202203011734765163

光源装置、検査装置、及び光源装置の制御方法

発明者：
佐久間 純

佐久間 純 について

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安藤 明博

安藤 明博 について

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阿部 泰之

阿部 泰之 について


出願人/特許権者：
レーザーテック株式会社

レーザーテック株式会社 について


代理人 (2件)： 家入 健 ,  岩瀬 康弘
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-005886
公開番号（公開出願番号）：特開2019-124845
特許番号：特許第7046613号
出願日： 2018年01月17日
公開日（公表日）： 2019年07月25日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 基本波を発生させるレーザ光源と、 前記基本波、又はその高調波が入射する外部共振器と、 前記外部共振器の光路に配置され、波長変換光を発生する波長変換素子と、 前記外部共振器の共振器長を変化させるアクチュエータと、 前記外部共振器からのモニタ光を検出する光検出器と、 前記光検出器での検出結果に基づいて、前記外部共振器の共振点からの誤差に応じた誤差信号を生成する誤差信号生成部と、 下限値と上限値とで設定される第1の可動範囲内において前記アクチュエータを動作させるとともに、前記誤差信号に基づいて前記アクチュエータをサーボ制御する制御部と、 前記制御部が前記サーボ制御のロック外れを検出した場合、前記アクチュエータの可動範囲を前記第1の可動範囲から前記第1の可動範囲と異なる第2の可動範囲に変更する可動範囲制御部と、を備え、 前記第1の可動範囲内でのサーボロック中において、前記制御部が第1のフィードバック制御パラメータを用いて前記アクチュエータをフィードバック制御し、 前記ロック外れを検出した後、前記第1のフィードバック制御パラメータと異なる第2のフィードバック制御パラメータを用いて、引き込みが発生するまで前記アクチュエータをフィードバック制御し、 引き込み発生後に前記可動範囲制御部が前記アクチュエータの可動範囲を前記第2の可動範囲から前記第1の可動範囲に変更するとともに、前記制御部が前記第1のフィードバック制御パラメータを用いて前記アクチュエータをフィードバック制御する光源装置。
IPC (8件)：
G02F 1/37 ( 200 6.01) ,  H01S 5/065 ( 200 6.01) ,  H01S 5/14 ( 200 6.01) ,  H01S 5/0683 ( 200 6.01) ,  H01S 3/098 ( 200 6.01) ,  H01S 3/00 ( 200 6.01) ,  H01S 3/10 ( 200 6.01) ,  G01N 21/84 ( 200 6.01)
FI (9件)：
G02F 1/37 ,  H01S 5/065 ,  H01S 5/14 ,  H01S 5/068 ,  H01S 3/098 ,  H01S 3/00 G ,  H01S 3/10 Z ,  H01S 3/00 F ,  G01N 21/84 E
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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