特許
J-GLOBAL ID:202203016127964760

評価装置、画像計測装置、評価方法及び評価プログラム

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2018-000284
公開番号(公開出願番号):特開2019-120578
特許番号:特許第7069724号
出願日: 2018年01月04日
公開日(公表日): 2019年07月22日
請求項(抜粋):
【請求項1】 計測物の計測面の輝度値に基づいて、前記計測面の特性評価を行う評価装置であって、 前記計測面の撮像画像に基づいて、前記計測面の輝度値を検出する第1の検出部と、 前記撮像画像における所定分離間した位置の輝度値差を検出する第2の検出部と、 前記第2の検出部は、 前記撮像画像の水平方向のライン上の輝度値の平均値のラインを、前記水平方向のライン上の輝度値に対してフィッティング処理するフィッティング処理部と、 前記フィッティング処理されたラインの両端部に相当する各輝度値の差、又は、前記フィッティング処理されたラインの両端部近傍の輝度値の差を、前記所定分離間した位置の輝度値差として検出する変動分検出部を、さらに備え、 前記所定分離間した位置の輝度値差が所定以上の差分であった場合に、エラー判定を行う判定部と を有することを特徴とする評価装置。
IPC (1件):
G01N 21/47 ( 200 6.01)
FI (1件):
G01N 21/47 Z
引用特許:
審査官引用 (8件)
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