特許
J-GLOBAL ID：201003024442356451

測光装置

発明者：
鈴木 了智

鈴木 了智 について


出願人/特許権者：
オリンパス株式会社

オリンパス株式会社 について


代理人 (5件)： 棚井 澄雄 ,  志賀 正武 ,  鈴木 三義 ,  高柴 忠夫 ,  増井 裕士
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-061440
公開番号（公開出願番号）：特開2010-216864
出願日： 2009年03月13日
公開日（公表日）： 2010年09月30日
要約：
【課題】測光装置において、測光を行うための被測定面の配置調整を容易に行うことができるようにする。【解決手段】光源1と、被測定面8を照明する照明光学系と、被測定面8で反射された測定光束L3を集光する集光光学系と、この集光光学系によって集光された測定光束L5を測定する分光器11とを有する測光装置50であって、被測定試料7を保持する保持台19と、被測定面8を集光光学系を介して撮像する撮像部16と、少なくとも被測定試料7の配置調整時に、被測定試料7と撮像部16との間の光路上に設けられた絞り21と、撮像部16で撮像された被測定面8の像の輝度分布から、輝度分布の偏りを示す輝度分布偏り情報を生成する演算処理部18と、演算処理部18で生成された輝度分布偏り情報を表示するモニタ17とを備える。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
光源と、該光源からの光束により被測定試料の被測定面を照明する照明光学系と、該照明光学系によって照明された前記被測定面で反射された測定光束を集光する集光光学系と、該集光光学系によって集光された前記測定光束の光量を測定する測光部とを有する測光装置であって、 前記被測定試料を保持する保持台と、 該保持台に保持された前記被測定試料の前記被測定面を前記集光光学系を介して撮像する撮像部と、 前記撮像部で撮像された前記被測定面の像の輝度分布から、輝度分布の偏りを示す輝度分布偏り情報を生成する演算処理部と、 該演算処理部で生成された前記輝度分布偏り情報を表示する表示部とを備えることを特徴とする測光装置。
IPC (3件)：
G01N 21/17 ,  G01N 21/27 ,  G01J 1/06
FI (3件)：
G01N21/17 A ,  G01N21/27 E ,  G01J1/06 B
Fターム (25件)：
2G059AA02 ,  2G059BB08 ,  2G059BB15 ,  2G059DD12 ,  2G059EE02 ,  2G059EE12 ,  2G059FF01 ,  2G059FF03 ,  2G059GG01 ,  2G059GG02 ,  2G059JJ05 ,  2G059JJ11 ,  2G059JJ22 ,  2G059KK04 ,  2G059MM01 ,  2G059MM05 ,  2G059PP04 ,  2G065AA11 ,  2G065AB22 ,  2G065AB27 ,  2G065AB28 ,  2G065BA04 ,  2G065BA06 ,  2G065BB44 ,  2G065BB48
引用特許：
審査官引用 (3件)

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