特許
J-GLOBAL ID:202203018621986923
ファンスクラバおよびファンスクラバの制御方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
特許業務法人酒井国際特許事務所
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2018-155639
公開番号(公開出願番号):特開2020-028851
特許番号:特許第7068101号
出願日: 2018年08月22日
公開日(公表日): 2020年02月27日
請求項(抜粋):
【請求項1】 前段に成膜装置が設置された真空ポンプの後段側に接続される入口配管と、 前記入口配管に接続され、モータの主軸に接続されるファンを格納する処理室と、 前記入口配管を加熱するヒータと、前記入口配管の内部に散水する水洗浄ポートと、 前記ヒータのオン/オフ、及び前記水洗浄ポートからの散水を制御する制御部と、 を備え、 前記制御部は、前記成膜装置から受信する信号が成膜信号からクリーニング信号に切り替わった時に、前記ヒータをオフにするとともに、前記水洗浄ポートからの散水をオンにするファンスクラバ。
IPC (2件):
B01D 47/06 ( 200 6.01)
, H01L 21/31 ( 200 6.01)
FI (2件):
B01D 47/06 B
, H01L 21/31 B
引用特許:
審査官引用 (2件)
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排気系システム
公報種別:公開公報
出願番号:特願2011-161552
出願人:株式会社荏原製作所
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排ガスの処理方法及び処理装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2004-351193
出願人:株式会社荏原製作所
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