特許
J-GLOBAL ID：202203018879218777

放電イオン化検出器およびガスクロマトグラフ分析装置

発明者：
品田 恵

品田 恵 について

, 
松岡 諭史

松岡 諭史 について

, 
北野 勝久

北野 勝久 について


出願人/特許権者：
株式会社島津製作所

株式会社島津製作所 について

, 
国立大学法人大阪大学

国立大学法人大阪大学 について


代理人 (1件)： 特許業務法人深見特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2020-163184
公開番号（公開出願番号）：特開2022-055645
出願日： 2020年09月29日
公開日（公表日）： 2022年04月08日
要約：
【課題】誘電体管の外壁に被覆部を設ける構成において、励起光が確実に放電用ガスに照射される放電イオン化検出器を提供する。 【解決手段】光源は、誘電体管を流通する放電用ガスに対して励起光を照射する。接地電極ユニットは、誘電体管の管軸方向に互いに離間して配置された第1接地電極と第2接地電極とを有する。高圧電極は、第1接地電極と第2接地電極との間に設けられている。第1接地電極と高圧電極との間の距離は、第2接地電極と高圧電極との間の距離よりも短い。誘電体管の外壁であって第1接地電極と高圧電極との間の位置には、被覆部が設けられている。光源は、光軸方向が被覆部を避けた位置を指すように励起光を照射する。 【選択図】図1
請求項（抜粋）：
放電用ガスが流通するガス流路を成し、管軸方向に延びる誘電体管と、 前記誘電体管の外壁に設けられた高圧電極と、 電気的に接地され、前記誘電体管の外壁に設けられた接地電極ユニットと、 前記高圧電極に接続され、前記誘電体管内で放電を発生させて前記放電用ガスからプラズマを生成するために、前記高圧電極と前記接地電極ユニットとの間に交流電圧を印加する電圧印加部と、 前記誘電体管を流通する前記放電用ガスに対して励起光を照射する光源と、 前記プラズマから発せられた光によって、前記ガス流路に導入された試料ガス中の試料成分から生成されたイオンを収集する収集電極を含む電荷収集部とを備え、 前記接地電極ユニットは、前記誘電体管の管軸方向に互いに離間して配置された第1接地電極と第2接地電極とを有し、 前記高圧電極は、前記第1接地電極と前記第2接地電極との間に設けられ、 前記第1接地電極と前記高圧電極との間の距離は、前記第2接地電極と前記高圧電極との間の距離よりも短く、 前記誘電体管の外壁であって前記第1接地電極と前記高圧電極との間の位置には、被覆部が設けられ、 前記光源は、光軸方向が前記被覆部を避けた位置を指すように前記励起光を照射する、放電イオン化検出器。
IPC (3件)：
G01N 30/64 ,  H01J 49/10 ,  H01J 49/16
FI (3件)：
G01N30/64 F ,  H01J49/10 ,  H01J49/16 100
Fターム (6件)：
5C038GG07 ,  5C038GG13 ,  5C038GH04 ,  5C038GH08 ,  5C038GH11 ,  5C038GH17
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (4件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM