特許
J-GLOBAL ID：202203020601523077
基板処理装置、基板処理方法、遅延期間設定方法およびプログラム
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人あい特許事務所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-084444
公開番号（公開出願番号）：特開2019-192799
特許番号：特許第7048403号
出願日： 2018年04月25日
公開日（公表日）： 2019年10月31日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 基板を保持する基板保持ユニットと、 前記基板保持ユニットに保持されている前記基板の上面中央部に向けて、有機溶剤を含む第1の処理液を吐出するための第1のノズルと、 前記第1のノズルに前記第1の処理液を供給する第1の配管と、 前記第1の配管を開閉する第1のバルブと、 前記第1のノズルとは別のノズルであって、前記基板保持ユニットに保持されている前記基板の上面中央部に向けて、疎水化剤を含む第2の処理液を吐出するための第2のノズルと、 前記第2のノズルに対して前記第2の処理液を供給する第2の配管と、 前記第2の配管を開閉する第2のバルブと、 前記第1のバルブの閉動作の開始後における前記第1の処理液の吐出流量の推移についての第1の流量推移情報と、前記第2のバルブの開動作の開始後における前記第2の処理液の吐出流量の推移についての第2の流量推移情報とを記憶する記憶ユニットを有し、前記第1のバルブおよび前記第2のバルブの開閉を制御する制御装置とを含み、 前記制御装置が、前記第1のノズルから前記第1の処理液が吐出されている吐出状態において、開状態にある前記第1のバルブを閉じる第1の閉動作工程と、前記第1のバルブの閉動作の開始から遅延期間の経過後、前記第1のノズルからの前記第1の処理液の吐出が完全には停止していない状態で前記第2のバルブの開動作を開始する第2の開動作工程とを実行し、 前記遅延期間が、前記第1のノズルからの前記第1の処理液の吐出流量と前記第2のノズルからの前記第2の処理液の吐出流量とが一致する状態における、当該第1の処理液の吐出流量と当該第2の処理液の吐出流量との合計流量が、所定の閾値以下になるように設けられており、 前記閾値が、前記吐出状態における前記第1の処理液の吐出流量よりも低い値であり、 前記遅延期間が、前記第1の流量推移情報と前記第2の流量推移情報とに基づいて、前記合計流量が前記閾値以下になるように設けられている、基板処理装置。
IPC (1件)：
FI (2件)：
H01L 21/304 651 B
, H01L 21/304 648 K
