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J-GLOBAL ID：200901000046495584   Update date: Aug. 02, 2024

Matsuo Shigeki

Matsuo Shigeki
Affiliation and department：
Shibaura Institute of Technology Department of Mechanical Engineering

About Shibaura Institute of Technology Department of Mechanical Engineering


Job title： Professor
Homepage URL  (2)： https://sites.google.com/shibaura-it.ac.jp/matsuos ,  https://sites.google.com/shibaura-it.ac.jp/matsuos-e
Research field  (6)： Optical engineering and photonics ,  Semiconductors, optical and atomic physics ,  Nano/micro-systems ,  Nanomaterials ,  Mechanics and mechatronics ,  Robotics and intelligent systems
Research keywords  (30)： 白金 ,  酸化チタン ,  マイクロレンズアレイ ,  マイクロロッドアレイ ,  ダイアモンド構造 ,  アブレーション ,  位相 ,  回析光学素子 ,  マクロマシン ,  ファイバ-プロ-プ ,  スピンコート ,  エバッセント場 ,  多焦点 ,  フォトポリマー ,  原子間力顕微鏡 ,  多光子吸収 ,  マイクロ・ナノデバイス ,  フォトマスク ,  干渉 ,  フォトニック結晶 ,  レジスト ,  フェムト秒レーザー ,  フォトリソグラフィー ,  レーザー加工 ,  マイクロマシニング ,  周期構造 ,  光ピンセット ,  NSOM ,  近接場顕微鏡 ,  マイクロマシン
Papers (150)：
  • Shogo Matsuda, Shigeki Matsuo. Scanning strategy-dependent etching rate in the formation of through-via holes by femtosecond laser-assisted etching. Japanese Journal of Applied Physics. 2024. 63. 5. 052001-052001
  • Ryoji Kato, Shigeki Matsuo. Anisotropic reversing motion in laser-induced periodic surface structures. Applied Physics Express. 2023. 16. 8. 082002-082002
  • Masahiro Kanno, Yutaka Tsuboi, Shigeki Matsuo, Yoshihisa Suzuki. Activation energy of kink incorporation of particles into colloidal crystals with attractive interactions. CrystEngComm. 2023. 25. 12. 1828-1832
  • S. Sooraj, Y. R. Yugandhara, N. J. Vasa, A. Kavitha, S. Krishnan, M. Shigeki. Short and ultrashort pulsed laser-based micro-scribing of copper film on a dielectric substrate for functional devices. Applied Physics A. 2022. 128. 11
  • Yuta Yanagisawa, Shigeki Matsuo. Pulse-by-pulse optical observation of laser-irradiated thin glass substrate using oil-immersion microscopy. Japanese Journal of Applied Physics. 2022. 61. 1. 010901-010901
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MISC (93)：
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Education (4)：
  • - 1995 Tohoku University Graduate School, Division of Natural Science
  • - 1995 Tohoku University
  • - 1990 Tohoku University Faculty of Science
  • - 1990 Tohoku University Faculty of Science
Work history (12)：
  • 2014/04 - 現在 Shibaura Institute of Technology Department of Mechanical Engineering Professor
  • 2007/04 - 2014/03 The University of Tokushima Institute of Technology and Science Associate Professor
  • 2002/01 - 2007/03 The University of Tokushima Graduate School of Engineering Associate Professor
  • 2006 - The University of Tokushima
  • 2004 - 2005 徳島大学 工学(系)研究科(研究院) 助教授
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Committee career (31)：
  • 2009/06 - 現在 Journal of Laser Micro/Nanoengineering, Editor
  • 2024/07 - 2026/05 一般社団法人レーザー学会 レーザー学会東京支部委員
  • 2023/12 - 2025/11 電気学会 次世代レーザプロセシング技術と応用調査専門委員会
  • - 2025/09 LPM2025 Steering Committee
  • 2021/12 - 2023/11 電気学会 レーザプロセシング先端技術と応用調査専門委員会委員
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Association Membership(s) (7)：
日本光学会 ,  レーザ加工学会 ,  光化学協会 ,  応用物理学会 ,  日本分光学会 ,  日本機械学会 ,  日本物理学会
※ Researcher’s information displayed in J-GLOBAL is based on the information registered in researchmap. For details, see here.

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