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J-GLOBAL ID:200901000046495584   Update date: Aug. 02, 2024

Matsuo Shigeki

Matsuo Shigeki
Affiliation and department:
Job title: Professor
Homepage URL  (2): https://sites.google.com/shibaura-it.ac.jp/matsuoshttps://sites.google.com/shibaura-it.ac.jp/matsuos-e
Research field  (6): Optical engineering and photonics ,  Semiconductors, optical and atomic physics ,  Nano/micro-systems ,  Nanomaterials ,  Mechanics and mechatronics ,  Robotics and intelligent systems
Research keywords  (30): 白金 ,  酸化チタン ,  マイクロレンズアレイ ,  マイクロロッドアレイ ,  ダイアモンド構造 ,  アブレーション ,  位相 ,  回析光学素子 ,  マクロマシン ,  ファイバ-プロ-プ ,  スピンコート ,  エバッセント場 ,  多焦点 ,  フォトポリマー ,  原子間力顕微鏡 ,  多光子吸収 ,  マイクロ・ナノデバイス ,  フォトマスク ,  干渉 ,  フォトニック結晶 ,  レジスト ,  フェムト秒レーザー ,  フォトリソグラフィー ,  レーザー加工 ,  マイクロマシニング ,  周期構造 ,  光ピンセット ,  NSOM ,  近接場顕微鏡 ,  マイクロマシン
Papers (150):
  • Shogo Matsuda, Shigeki Matsuo. Scanning strategy-dependent etching rate in the formation of through-via holes by femtosecond laser-assisted etching. Japanese Journal of Applied Physics. 2024. 63. 5. 052001-052001
  • Ryoji Kato, Shigeki Matsuo. Anisotropic reversing motion in laser-induced periodic surface structures. Applied Physics Express. 2023. 16. 8. 082002-082002
  • Masahiro Kanno, Yutaka Tsuboi, Shigeki Matsuo, Yoshihisa Suzuki. Activation energy of kink incorporation of particles into colloidal crystals with attractive interactions. CrystEngComm. 2023. 25. 12. 1828-1832
  • S. Sooraj, Y. R. Yugandhara, N. J. Vasa, A. Kavitha, S. Krishnan, M. Shigeki. Short and ultrashort pulsed laser-based micro-scribing of copper film on a dielectric substrate for functional devices. Applied Physics A. 2022. 128. 11
  • Yuta Yanagisawa, Shigeki Matsuo. Pulse-by-pulse optical observation of laser-irradiated thin glass substrate using oil-immersion microscopy. Japanese Journal of Applied Physics. 2022. 61. 1. 010901-010901
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MISC (93):
Education (4):
  • - 1995 Tohoku University Graduate School, Division of Natural Science
  • - 1995 Tohoku University
  • - 1990 Tohoku University Faculty of Science
  • - 1990 Tohoku University Faculty of Science
Work history (12):
  • 2014/04 - 現在 Shibaura Institute of Technology Department of Mechanical Engineering Professor
  • 2007/04 - 2014/03 The University of Tokushima Institute of Technology and Science Associate Professor
  • 2002/01 - 2007/03 The University of Tokushima Graduate School of Engineering Associate Professor
  • 2006 - The University of Tokushima
  • 2004 - 2005 徳島大学 工学(系)研究科(研究院) 助教授
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Committee career (31):
  • 2009/06 - 現在 Journal of Laser Micro/Nanoengineering, Editor
  • 2024/07 - 2026/05 一般社団法人レーザー学会 レーザー学会東京支部委員
  • 2023/12 - 2025/11 電気学会 次世代レーザプロセシング技術と応用調査専門委員会
  • - 2025/09 LPM2025 Steering Committee
  • 2021/12 - 2023/11 電気学会 レーザプロセシング先端技術と応用調査専門委員会委員
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Association Membership(s) (7):
日本光学会 ,  レーザ加工学会 ,  光化学協会 ,  応用物理学会 ,  日本分光学会 ,  日本機械学会 ,  日本物理学会
※ Researcher’s information displayed in J-GLOBAL is based on the information registered in researchmap. For details, see here.

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