Sato Kazuo

Research field  (4)： Material fabrication and microstructure control ,  Mechanics and mechatronics ,  Robotics and intelligent systems ,  Applied physics - general

Research keywords  (42)： FTIR ,  表面粗さ ,  バルクマイクロマシニング ,  TMAH ,  KOH ,  エッチング液 ,  音叉型水晶振動子 ,  機械的特性 ,  界面活性剤 ,  マイクロニードル ,  FIB ,  曲げ試験 ,  疲労試験 ,  引張り試験 ,  SOIウェハ ,  SiO2 ,  マイクロファブリケーション ,  異方性エッチング ,  ウェットエッチング ,  NEMS ,  MEMS ,  FTIR ,  Surface roughness ,  Bulk micromachining ,  TMAH ,  KOH ,  Etchant ,  Quartz tuning fork ,  Mechanical property ,  Surfactant ,  Micro needle ,  FIB ,  Bending test ,  Fatigue test ,  Tensile test ,  SOI wafer ,  SiO2 ,  Microfabrication ,  Anisotropic etching ,  Wet etching ,  NEMS ,  MEMS