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J-GLOBAL ID:200901032847091743   Update date: Sep. 28, 2020

Muta Hiroshi

ムタ ヒロシ | Muta Hiroshi
Affiliation and department:
Job title: Professor
Research field  (1): Applied plasma science
Research keywords  (6): Ultrafast DLC deposition ,  VHF Plasma ,  Numerical Simulation of Electromagnetic Fields ,  Thin-film Silicon Solar Cell ,  ECR Plasma ,  Plasma CVD
Research theme for competitive and other funds  (5):
  • 2013 - 2016 超音速噴流を用いたVHFプラズマによる高速大面積微結晶シリコン製膜法の開発
  • 2008 - 2011 狭ギャップ高圧VHFプラズマを用いた微結晶シリコン薄膜作製
  • 2007 - 2010 中性粒子風と渦の極性反転
  • 2002 - 2003 低温プラズマ表面修飾技術による酸化チタン微粒子の環境浄化機能の改善に関する研究
  • 1998 - 2000 ECRプラズマ中の電子速度分布関数と成膜の再現性に関する研究
Papers (18):
MISC (20):
Books (1):
  • プラズマCVDにおける成膜条件の最適化に向けた反応機構の理解とプロセス制御・成膜事例
    サイエンス&テクノロジー 2018
Professional career (1):
  • Doctor of Engineering (Kyushu University)
Work history (1):
  • 2015/04 - 現在 Kinki University, Human-oriented Engineering Professor
Committee career (1):
  • 2002 - プラズマ・核融合学会 広報委員
Awards (1):
  • 1986 - 電気関係学会九州支部連合大会発表賞
Association Membership(s) (3):
電気学会 ,  プラズマ・核融合学会 ,  応用物理学会
※ Researcher’s information displayed in J-GLOBAL is based on the information registered in researchmap. For details, see here.

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