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J-GLOBAL ID：200901068761960832
Update date: Dec. 06, 2023
Goto Toshio
ゴトウ トシオ | Goto Toshio
Affiliation and department：
Job title：
Director in General of Institute of Science and Tecnology
Research field (3)：
Electronic devices and equipment
, Optical engineering and photonics
, Thin-film surfaces and interfaces
Research keywords (8)：
波長可変超短パルスレーザ
, レーザ分光
, ラジカル
, プラズマプロセス
, wavelength tunable ultra-short pulse laser
, laser spectroscopy
, radical
, plasma process
Research theme for competitive and other funds (6)：
MISC (1,196)：
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M Ito, K Takeda, T Shiina, Y Okamura, H Nagai, M Hori, T Goto. Silicon-oxide etching process employing an electron-beam-excited plasma. JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B. 2004. 22. 2. 543-547
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M Ito, K Takeda, T Shiina, Y Okamura, H Nagai, M Hori, T Goto. Silicon-oxide etching process employing an electron-beam-excited plasma. JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B. 2004. 22. 2. 543-547
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T Ohta, M Hori, T Ishida, T Goto, M Ito, S Kawakami, N Ishii. Effects of driving frequency on the translational temperature and absolute density of Si atoms in very high frequency capacitively coupled SiF4 plasmas. JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 2-LETTERS & EXPRESS LETTERS. 2003. 42. 12B. L1532-L1534
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T Ohta, M Hori, T Ishida, T Goto, M Ito, S Kawakami, N Ishii. Effects of driving frequency on the translational temperature and absolute density of Si atoms in very high frequency capacitively coupled SiF4 plasmas. JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 2-LETTERS & EXPRESS LETTERS. 2003. 42. 12B. L1532-L1534
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J Higuchi, N Nishizawa, M Mori, R Goto, K Yamane, T Goto. Generation of squeezed vacuum using spectral filter by spatial light modulator and nonlinear polarization interferometer. JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS. 2003. 42. 8. 5048-5051
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Books (16)：
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応用物理学用語辞典
(株)オーム社 1998
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量子エレクトロニクス
(株)昭晃堂 1998
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フリーラジカルの科学
(株)学会出版センター 1998
-
物質(もの)とは その機能と変換
第11回「大学と科学」公開シンポジウム組織委員会 1997
-
検証:災害とは何か
(株)リバティ書房 1997
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Professional career (1)：
Work history (12)：
- 2004 - 2005 Nagoya University Nagoya University
- 2005 - - 中部大学総合工学研究所長
- 2003 - 2004 Nagoya University
- 2000 - 2003 名古屋大学工学研究科長・工学部長、評議員
- 2003 - - 日本学術会議第5部会員
- 1996 - 1998 名古屋大学ベンチャービジネスラボラトリー長
- 1994 - 1996 Nagoya University
- 1986 - 1995 名古屋大学工学部電子工学科教授
- 1995 - - 名古屋大学工学研究科量子工学専攻教授
- 1992 - 1994 Nagoya University School of Engineering
- 1974 - 1986 同講師、助教授
- 1969 - 1974 名古屋大学工学部電子工学科助手
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Committee career (14)：
- 2002 - 2004 応用物理学会 会長
- 2004 - 日本工学アカデミー 理事
- 2000 - 2002 応用物理学会 副会長
- 2002 - Institute of Physics Fellow
- 2002 - IEEE Fellow
- 1999 - 2000 レーザー学会 中部支部長
- 1995 - 2000 応用物理学会 本部評議員
- 1997 - 1999 応用物理学欧文誌刊行会 JJAP運営委員
- 1986 - 1998 レーザー学会 編集委員
- 1995 - 1997 応用物理学会 支部長
- 1995 - 1997 応用物理学会 東海支部長
- 1993 - 1995 応用物理学会 常務理事
- 1986 - 1988 応用物理学会プラズマエレクトロニクス研究会 委員長
- 応用物理学会 監事
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Awards (9)：
- 2003 - 応用物理学会プラズマエレクトロニクス賞
- 2003 - 応用物理学会論文賞
- 2002 - Institute of Physics Fellow Award
- 2002 - 日本工学教育協会賞(業績賞)
- 2002 - IEEE Fellow Award
- 2001 - Int. Microprocesses and Nanotechnology Conference 2000 Paper Award
- 2001 - International Biographical Center's 21st Award for Achievement
- 2001 - レーザー学会業績賞(進歩賞)
- 1993 - レーザー学会業績賞(論文賞)
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Association Membership(s) (7)：
日本工学アカデミー
, 応用物理学会プラズマエレクトロニクス研究会
, 応用物理学会
, 応用物理学欧文誌刊行会
, レーザー学会
, Institute of Physics
, IEEE
