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J-GLOBAL ID：200901093715375334   Update date: Sep. 28, 2022

Kawabata Keishi

カワバタ ケイシ | Kawabata Keishi
Affiliation and department：
Hiroshima Institute of Technology Faculty of Engineering, Department of Electronics and Photonic Systems Engineering

About Hiroshima Institute of Technology Faculty of Engineering, Department of Electronics and Photonic Systems Engineering


Homepage URL  (1)： http://ttl.cc.it-hiroshima.ac.jp
Research field  (3)： Inorganic materials ,  Electronic devices and equipment ,  Electric/electronic material engineering
Research keywords  (6)： 無機材料・物性 ,  電子デバイス・機器工学 ,  電子・電気材料工学 ,  Inorganic Material and Properties ,  Electron Devices and Machineries Engineering ,  Electronic and Electrical Materisl Engineering
Research theme for competitive and other funds  (10)：
  • X線光電子分光法による薄膜評価
  • スパッタリングによる薄膜形成技術
  • 多重磁極マグネトロンスパッタ装置の開発
  • 高融点金属のスパッタリングに関する研究
  • 薄膜形成技術に関する研究
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MISC (69)：
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Patents (3)：
  • 高機能表面処理Mg系金属とその製造方法
  • 多重磁極マグネトロンスパッタ法
  • マグネトロンスパッタ法
Books (9)：
  • Effect of d.c. bias on the deposition rate using r.f.-d.c. coupled magnetron sputtering for SnNx thin films (共著)
    Proc. 5th. Int. Symposium on sputtering and processes 1999
  • XPS profilography through angle resolved spectra(共著)
    Abstracts of ELECTRONICA 1998
  • Textured surface analysis by x-ray photoelectron Spectroscopy(共著)
    Abstracts of ELECTRONICA 1998
  • 電子デバイス-物性からICまで-(共著)
    産業図書 1997
  • Stoichiometry control in r. f. -d. c. Coupled magnetron Sputtering of A(]G0131[)N<sub>x</sub>(共著)
    Proc. 5th. Int. Conf. on Electron Beam Technogies 1997
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Works (6)：
  • 多重磁極マグネトロンスパッタ装置の開発
    2001 -
  • Development of magnetron sputtering system with multipolar magnets
    2001 -
  • 透明導電膜の表面改質
    1992 - 1993
  • Surface Improvement of transparent conductive oxide films
    1992 - 1993
  • スパッタリング薄膜の評価
    1990 -
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Education (2)：
  • - 1967 Hiroshima Institute of Technology Faculty of Engineering
  • - 1967 Hiroshima Institute of Technology Faculty of Engineering
Professional career (1)：
  • Doctor in Engineering (Hiroshima University)
Work history (10)：
  • 1981 - 1991 Hiroshima Institute of Technology
  • 1981 - 1991 Hiroshima Institute of Technology, Assistant
  • 1991 - - 広島工業大学 教授
  • 1991 - - Hiroshima Institute of Technology, Professor
  • 1971 - 1981 Hiroshima Institute of Technology
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Committee career (2)：
  • 2003 - 応用物理学会中国四国支部 幹事
  • 1998 - 電子情報通信学会中国支部 評議委員
Association Membership(s) (6)：
応用物理学会中国四国支部 ,  電子情報通信学会中国支部 ,  American Vacuum Society ,  米国電気電子学会(IEEE:THE INSTITUTE OF ELECTRICAL AND ELECTRONICS ENGINEERS,INC.) ,  電子情報通信学会 ,  応用物理学会
※ Researcher’s information displayed in J-GLOBAL is based on the information registered in researchmap. For details, see here.

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