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J-GLOBAL ID：201602240187772719   Reference number：16A1280787

圧電体MEMSダイアフラム型超音波センサの上部電極が振動モードに与える影響

Author (4)： NISHIOKA TOMOKI (京都工繊大) ,  NISHIUMI TAIKI (京都工繊大) ,  YAMASHITA KAORU (京都工繊大) ,  NODA MINORU (京都工繊大)
Material： センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム(CD-ROM)  (センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム論文集(CD-ROM))
Volume： 33rd  Page： ROMBUNNO.26am1-B-2  Publication year： 2016 
JST Material Number： X0768B  Document type： Proceedings
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *piezoelectrics ,  sensor ,  *MEMS ,  diaphragm(machine element) ,  *acoustic wave sensor ,  ultrasonic measurement ,  electrode ,  oscillation mode
Semi thesaurus term： MEMS sensor ,  *ultrasonic sensor

JST classification (1)： Piezoelectric devices  (NC03110I)

Terms in the title (6)： 圧電体 ,  MEMS ,  ダイアフラム ,  超音波センサ ,  上部電極 ,  振動モード