Art

J-GLOBAL ID：200902001941131890   Reference number：88A0395301

Laser-induced thermo-chemical etching of ceramics. Etching characteristics in CF₄ gas.

レーザ誘起熱化学反応を利用したセラミックスの加工 CF₄ガス雰囲気中での加工特性

Author (6)： TSUCHIYA HACHIRO (京都工繊大 工芸) ,  GOTO HIDEKAZU (京都工繊大 工芸) ,  MORI YUZO (大阪大 工) ,  MIYAZAKI MAKOTO (京都工繊大 工芸) ,  YASUDA TERUHIRO (京都工繊大 大学院) ,  KAWAHARA KOJI (松下冷機)
Material： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
Volume： 54  Issue： 5  Page： 903-908  Publication year： May. 1988 
JST Material Number： F0268A  ISSN： 0912-0289  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： carbon dioxide laser ,...
Semi thesaurus term： pressure dependence ,...

   To see more with JDream III (charged).   {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=88A0395301&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=F0268A") }}

JST classification (2)： Special machining  (QC04000Y) ,  Properties of ceramics and ceramic whiteware  (YC03030G)

Reference (10)：

• 1) 川澄博通 : レーザ加工技術, 日刊工業新聞社(1985).
• 2) 岡野啓作, 堤 千里, 村田良司, 高水一成 : セラミックスのCO₂レーザ穴あけ加工, 昭和62年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集(1987)445.
• 3) 兼松 渉, 酒井清介, 伊藤 勝, 山内幸彦, 大司達樹, 伊藤正治 : ホットプレス窒化ケイ素のレーザ加工-加工変質層, 窯業協会誌, 94, 7(1986)671.
• 4) 土屋八郎, 後藤英和, 森 勇蔵, 広瀬喜久治, 遠藤勝義, 山内和人, 宮崎 眞, 安田光宏 : CO₂レーザによるSiおよびSi₃N₄表面酸化反応層の形成と表面層の除去機構, 昭和61年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集(1986)549.
• 5) R. J. von Gutfeld and R. T. Hodgson : Laser Enhanced Etching in KOH, Appl. Phys. Lett., 40, 4, ( 1982) 352.

Terms in the title (5)： レーザ誘起 ,  熱化学反応 ,  セラミックス ,  ガス雰囲気 ,  加工特性