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J-GLOBAL ID：200902008205491255   Reference number：90A0147898

Mechanochemical polishing of sintered silicon nitride.

窒化けい素焼結体のメカノケミカルポリシング

Author (3)： SUGA TADATOMO (東大 工) ,  SUZUKI SHIGENOBU (職業訓練大) ,  MIYAZAWA KUN'ICHI (東大 工)
Material： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
Volume： 55  Issue： 12  Page： 2247-2253  Publication year： Dec. 1989 
JST Material Number： F0268A  ISSN： 0912-0289  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： X-ray photoelectron spectrum ,...
Semi thesaurus term： pressure dependence ,...

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JST classification (2)： Grinding  (QC03000R) ,  Properties of ceramics and ceramic whiteware  (YC03030G)

Reference (7)：

• 1) 今中 治, 安永暢男 : メカノケミカルポリシング, 機械と工具, 1 (1984) 84.
• 2) N. Yasunaga u. O. Imanaka : Über die Rolle chemischer Reaktionen auf den Verschleiß-mechanismus von α-Al₂O₃-Einkristallen, Bull. JSPE, 4, 4, (1970) 107.
• 3) 唐木俊郎, 三宅正二郎, 渡辺純二 : Si単結晶のメカノケミカルポリシングにおける加工速度促進機構, 精密機械, 46, 3 (1980) 331.
• 4) 樋口勝敏 : GaAs単結晶基板の研磨技術 (第2報), 昭和62年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集 (1980) 55.
• 5) 落合雄二, 荒川紀義 : フェライト材のメカノケミカルポリシング (第1報), 精密機械, 54, 3 (1988) 574.

Terms in the title (2)： 窒化けい素焼結体 ,  メカノケミカルポリシング