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J-GLOBAL ID：200902009890830284   Reference number：88A0262676

An ultra precision straight motion system. (1st report). Two degrees of freedom control of motion.

超高精度直線運動機構 I 機構の試作と2自由度の制御

Author (4)： AOYAMA HISAYUKI (東京工大 精密工研) ,  WATANABE ICHIRO (富士通研) ,  AKUTSU KOTARO (東京工大 大学院) ,  SHIMOKOBE AKIRA (東京工大 精密工研)
Material： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
Volume： 54  Issue： 3  Page： 558-563  Publication year： Mar. 1988 
JST Material Number： F0268A  ISSN： 0912-0289  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： rectilinear motion ,...
Semi thesaurus term： PZT

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JST classification (1)： Motion mechanism  (QB01080K)

Reference (3)：

• 1) 青山尚之, 渡辺一郎, 下河辺 明 : 高精度な直線運動に関する研究(第3報)-5自由度制御直動システム, 精密機械, 51, 12(1985)2277.
• 2) 下河辺 明, 青山尚之, 片桐創一, 梅沢清彦 : 静圧直線案内のベルト駆動(第1報)-直線運動精度, 精密工学会誌, 53, 6(1986)915.
• 3) 渡辺一郎, 青山尚之, 下河辺 明 : 微小振動の制振を考慮した空気静圧保持機構, 昭和61年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集(1986)499.

Terms in the title (3)： 直線運動機構 ,  試作 ,  2自由度