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J-GLOBAL ID：200902018221118063   Reference number：89A0059984

Radio frequency magnetron sputtering growth and characterization of indium-tin oxide (ITO) thin films for NO₂ gas sensors.

NO₂ガスセンサとしての無線周波数マグネトロンスパッタリング法を用いたインジウム-酸化すず(ITO)薄膜の成長と特性測定

Author (3)： SBERVEGLIERI G (Univ. Parma, Parma, ITA) ,  GROPPELLI S (Univ. Parma, Parma, ITA) ,  COCCOLI G (Inst. Castelli, Brescia, ITA)
Material： Sensors and Actuators (Lausanne)  (Sens Actuators (Lausanne))
Volume： 15  Issue： 3  Page： 235-242  Publication year： Nov. 1988 
JST Material Number： B0345B  ISSN： 0250-6874  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Switzerland (CHE)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： nitrogen dioxide ,...

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JST classification (1)： Analytical instruments  (CC02020S)

Terms in the title (9)： NO2 ,  ガスセンサ ,  無線周波数 ,  マグネトロンスパッタリング ,  インジウム ,  酸化すず ,  ITO ,  薄膜 ,  成長