Acid-diffusion effect on nanofabrication in chemical amplification resist.

YOSHIMURA T; NAKAYAMA Y; OKAZAKI S

Art

J-GLOBAL ID：200902022701000370 Reference number：93A0190275

Acid-diffusion effect on nanofabrication in chemical amplification resist.

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Volume： 10 Issue： 6 Page： 2615-2619 Publication year： Nov. 1992
JST Material Number： E0974A ISSN： 1071-1023 CODEN： JVTBD9 Document type： Article
Country of issue： United States (USA) Language： ENGLISH (EN)

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