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J-GLOBAL ID：200902031539324769   Reference number：86A0210625

An optical non-contacting probe. (2nd report) Experiments on a miniaturized one body probe.

光学式非接触プローブの研究 II 小型一体化プローブ

Author (2)： OSADA HIDEHARU (東京工大精密工研) ,  SHIMOKOBE AKIRA (東京工大精密工研)
Material： 精密機械  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
Volume： 51  Issue： 12  Page： 2271-2276  Publication year： Dec. 1985 
JST Material Number： F0268A  ISSN： 0374-3543  CODEN： SEKIA  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： photodetector ,...

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JST classification (1)： Measuring methods and instruments of length,area,cross section,volume,angle  (AD05020O)

Reference (1)：

• 1) 下河辺 明, 長田秀治 : 光学式非接触ブローブの研究, 精密機械, 50, 7 (1984) 1123.

Terms in the title (5)： 光学 ,  非接触 ,  プローブ ,  研究 ,  一体化