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J-GLOBAL ID：200902041929342178   Reference number：91A0608814

Crystalline lattice for metrological applications and positioning control by a dual tunneling-unit scanning tunneling microscope.

2個のトンネルユニットを用いたSTM(DTU-STM)による測長機能と位置制御の実証のための結晶格子の活用

Author (4)： KAWAKATSU H (Univ. Tokyo, Tokyo, JPN) ,  HOSHI Y (Univ. Tokyo, Tokyo, JPN) ,  HIGUCHI T (Univ. Tokyo, Tokyo, JPN) ,  KITANO H (Matsushita Electric Works, Osaka, JPN)
Material： Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures  (Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics Processing and Phenomena)
Volume： 9  Issue： 2 Pt 2  Page： 651-654  Publication year： Mar. 1991 
JST Material Number： E0974A  ISSN： 1071-1023  CODEN： JVTBD9  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： positioning ,...
Semi thesaurus term： nanometer

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JST classification (1)： Microscopy determination of structures  (BK01040E)

Terms in the title (7)： トンネル ,  STM ,  測長 ,  位置制御 ,  実証 ,  結晶格子 ,  活用