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J-GLOBAL ID：200902044139216325   Reference number：91A0704190

A versatile low-pressure ozone source.

汎用低圧オゾン源

Author (5)： COLEMAN E (AT&T Bell Lab., New Jersey) ,  SIEGRIST T (AT&T Bell Lab., New Jersey) ,  MIXON D A (AT&T Bell Lab., New Jersey) ,  TREVOR P L (AT&T Bell Lab., New Jersey) ,  TREVOR D J (AT&T Bell Lab., New Jersey)
Material： Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films  (Journal of Vacuum Science and Technology. A. Vacuum, Surfaces, and Films)
Volume： 9  Issue： 4  Page： 2408-2409  Publication year： Jul. 1991 
JST Material Number： C0789B  ISSN： 0734-2101  CODEN： JVTAD6  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： Ozone ,...
Semi thesaurus term： 低圧オゾン源

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JST classification (3)： Techniques and equipment of thin film deposition  (BK14020I) ,  Oxide thin films  (BK14050P) ,  Superconducting materials  (BM04041W)

Terms in the title (3)： 汎用 ,  低圧 ,  オゾン