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J-GLOBAL ID：200902052174480950   Reference number：92A0382371

High Power Examinations of rf Window Materials.

アルミナ高周波窓へのTiN薄膜コーティング

Author (4)： MICHIZONO SHIN'ICHIRO (東大 工) ,  SAITO YOSHIO (高エネルギー物理研) ,  MATSUDA NAMIO (東京電機大 工) ,  KIMBARA AKIRA (東大 工)
Material： 真空  (Journal of the Vacuum Society of Japan)
Volume： 35  Issue： 3  Page： 381-384  Publication year： Mar. 1992 
JST Material Number： G0194A  ISSN： 0559-8516  CODEN： SHINA  Document type： Article
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： radio wave ,...
Semi thesaurus term： multipactor ,...

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JST classification (2)： Thin films of other inorganic compounds  (BK14060A) ,  Electrical/magnetic experimental techniques  (BA02050S)

Reference (14)：

• 1) Y. Saito et al. : IEEE Trans. on Electr. Insul., 24 (1989) 1029.
• 2) Y. Saito et al. : Proceedings of XIVth International Symposium on Discharges and Electrical Insulation in Vacuum, Santa Fe. New Mexico, USA, September, 1990.
• 3) 斉藤芳男, 他 : 真空, 30 (1987) 406.
• 4) 松田七美男, 他 : 真空, 29 (1986) 392.
• 5) 道園真一郎, 他 : 真空, 33 (1990) 340.

Terms in the title (4)： アルミナ ,  高周波窓 ,  TiN薄膜 ,  コーティング