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J-GLOBAL ID：200902053115126766   Reference number：91A0732023

Processing-structure relations for ferroelectric thin films deposited by ion beam sputter deposition.

イオンビームスパッタ蒸着によって堆積した強誘電体薄膜のプロセスと構造の関係

Author (8)： KINGON A (North Carolina State Univ., North Carolina, USA) ,  AMEEN M (North Carolina State Univ., North Carolina, USA) ,  AUCIELLO O (Microelectronics Center of North Carolina, NC) ,  GIFFORD K (North Carolina State Univ., North Carolina, USA) ,  AL-SHAREEF H (North Carolina State Univ., North Carolina, USA) ,  GRAETTINGER T (North Carolina State Univ., North Carolina, USA) ,  ROU S-H (North Carolina State Univ., North Carolina, USA) ,  HREN P (North Carolina State Univ., North Carolina, USA)
Material： Ferroelectrics
Volume： 116  Issue： 1/2  Page： 35-49  Publication year： Apr. 1991 
JST Material Number： D0777A  ISSN： 0015-0193  CODEN： FEROA8  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： ferroelectrics ,...
Semi thesaurus term： PZT

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JST classification (2)： Ferroelectrics,antiferroelectrics and ferroelasticity  (BM05030B) ,  Techniques and equipment of thin film deposition  (BK14020I)

Terms in the title (5)： イオンビーム ,  スパッタ蒸着 ,  堆積 ,  強誘電体薄膜 ,  プロセス