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J-GLOBAL ID：200902070484713839   Reference number：89A0449689

Inprocess control in micro joining. Its present and furtur trend.

マイクロ接合におけるプロセス制御 その現状と将来への展望

Author (1)： NAKATA SHUJI (大阪大 工)
Material： 日本金属学会会報  (Bulletin of the Japan Institute of Metals)
Volume： 28  Issue： 7  Page： 595-601  Publication year： Jul. 1989 
JST Material Number： F0163A  ISSN： 0021-4426  CODEN： NKZKAU  Document type： Article
Article type： 解説  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： microelectronics ,...

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JST classification (2)： Welding techniques  (WC07030G) ,  Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Reference (22)：

• (1) 仲田周次: 日本時計学会誌, No.116 (1986), 38.
• (2) 溶接学会マイクロ接合研究委員会編: マイクロ接合技術 (第I, II, III編), 溶接学会,(1987).
• (3) 本多進: 電子材料,(1985.5), 22.
• (4) 岡本英男: HYBRIDS, 3 (1987), 2.
• (5) 町田一道: 溶接学会講演概要, 39 (1986), 23.

Terms in the title (5)： マイクロ接合 ,  プロセス制御 ,  現状 ,  将来 ,  展望