Art

J-GLOBAL ID：200902071146169119   Reference number：89A0121293

Precise positioner utilizing rapid deformations of a piezoelectric element.

圧電素子の急速変形を利用した超精密位置決め機構

Author (3)： HIGUCHI TOSHIRO (東大 生産技研) ,  WATANABE MASAHIRO (東大 生産技研) ,  KUDO KEN'ICHI (プリマハム 中研)
Material： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
Volume： 54  Issue： 11  Page： 2107-2112  Publication year： Nov. 1988 
JST Material Number： F0268A  ISSN： 0912-0289  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： positioning ,...

   To see more with JDream III (charged).   {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=89A0121293&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=F0268A") }}

JST classification (1)： Machine tool elements,jigs,chucks  (QC01020Z)

Reference (7)：

• 1) G.Binnig and H.Rohrer : Scanning Tunneling Microscopy, Helvetica Physica Acta, 55, (1982) 726.
• 2) T.Higuchi, Y.Hojjat and M.Watanabe : Micro Actuators Using Recoils of an Ejected Mass IEEE, Micro Robot and Teleoperators Work-shop Proceedings. Nov.1987.
• 3) 森山茂夫, 原田達男, 高梨明紘 : 圧電素子アクチュエータを備えた超精密X-Y移動台, 精密機械, 50, 4 (1984) 80.
• 4) (米) Burley Instrument 社カタログ, Micropositioning Systems
• 5) 杉原和佳, 東条 徹 : 圧電素子を用いた X Y θテーブル, 精密工学会誌, 52, 8 (1986) 1443.

Terms in the title (2)： 圧電素子 ,  精密位置決め