Art

J-GLOBAL ID：200902081711247701   Reference number：88A0557203

Micro mechanical sensors.

機械量センサ

Author (2)： SUGIYAMA SUSUMU (豊田中研) ,  IGARASHI ISEMI (豊田中研)
Material： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
Volume： 54  Issue： 9  Page： 1641-1645  Publication year： Sep. 1988 
JST Material Number： F0268A  ISSN： 0912-0289  Document type： Article
Article type： 解説  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： sensor ,...
Semi thesaurus term： チップ【IC】

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JST classification (1)： Measuring methods and instruments of force,work load,pressure,friction  (AD05050V)

Reference (9)：

• 1) K. E. Petersen : Silicon as a Mechanical Material, Proc. IEEE, 70, 5, (1982) 420.
• 2) Proc. Transducers '87, Tokyo, (1987).
• 3) S. Sugiyama et al. : Micro-Diaphragm Pressure Sensor, IEEE IEDM Tech. Digest, (1986) 184.
• 4) 杉山 進ほか : マイクロダイヤフラム圧力センサ, 電子情報通信学会研資, CPM86-115 (1987).
• 5) S. Sugiyama et al. : High-Resolution Silicon Pressure Imager with CMOS Processing Circuits, Proc. Trans-ducers '87, (1987) 444.