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J-GLOBAL ID：200902087048070698   Reference number：89A0049582

Determination of uranium and thorium in semiconductor materials by tungsten-boat vaporization/ICP-AES.

タングステンボート蒸発気化/誘導結合プラズマ発光分析法による半導体材料中のウラン,トリウムの定量

Author (2)： OKADA AKIRA (東芝 総研) ,  HIRATE NAOYUKI (東芝 総研)
Material： 分析化学
Volume： 37  Issue： 11  Page： T205-T208  Publication year： Nov. 1988 
JST Material Number： F0008A  ISSN： 0525-1931  CODEN： BNSKAK  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： Tungsten ,...

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JST classification (2)： Physical analysis of elements in inorganic substances  (CC03022H) ,  General  (NC03161C)

Reference (6)：

• 1) T. C. May, M. H. Woods : “16th Proceedings of 1978 International Reliability Physics Symposium”, p. 33 (1978).
• 2) 大西 寛, 樋田行雄 : 分析化学, 14, ll41(1965).
• 3) 本間中八郎, 黒沢 賢, 川島 泉, 山脇正隆, 田中尚武 : 電子通信学会論文誌, J63-C, 653(1980).
• 4) 工藤 冽, 重松俊男, 米沢洋樹, 小林健二, 穴山 汎 : 研究実用化報告, 30, 2093, 1981).
• 5) 黒沢雅夫, 高橋純一, 千葉光一, 長谷川哲也, 原口紘〓, 不破敬一郎 : 日本分析化学会第31年会講演要旨集, p.443(1982).

Terms in the title (9)： タングステン ,  ボート ,  蒸発 ,  気化 ,  誘導結合プラズマ発光分析法 ,  半導体材料 ,  ウラン ,  トリウム ,  定量