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J-GLOBAL ID：200902089182462724   Reference number：90A0237095

The National Institute of Standards and Technology molecular measuring machine project: Metrology and precision engineering design.

National Institute of Standards and Technologyの分子測定機器開発プロジェクト 計測法と精密工学設計

Author (1)： TEAGUE E C (National Inst. Standards and Technology, Maryland)
Material： Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures  (Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics Processing and Phenomena)
Volume： 7  Issue： 6  Page： 1898-1902  Publication year： Nov. 1989 
JST Material Number： E0974A  ISSN： 1071-1023  CODEN： JVTBD9  Document type： Article
Article type： 解説  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： precision measurement ,...
Semi thesaurus term： STM ,...

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JST classification (1)： Measuring methods and instruments of length,area,cross section,volume,angle  (AD05020O)

Terms in the title (7)： 分子 ,  測定機器 ,  開発 ,  プロジェクト ,  計測法 ,  精密工学 ,  設計