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J-GLOBAL ID：200902092025524563 Reference number：90A0027666
シラン類のCVDの量子化学的解析
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Material：
化学と工業 (Chemistry & Chemical Industry)
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Volume：
42
Issue：
11
Page：
2053-2054
Publication year：
Nov. 1989
JST Material Number：
F0107A
ISSN：
0022-7684
CODEN：
KAKTAF
Document type：
Article
Country of issue：
Japan (JPN)
Language：
JAPANESE (JA)
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