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J-GLOBAL ID：200902093713091030   Reference number：89A0209102

On the performance of diamond film polishing apparatus developed.

熱化学反応を利用した膜状ダイヤモンド研磨機の試作および性能

Author (3)： YANG C-F (東京工大 大学院) ,  TOKURA HITOSHI (東京工大 工) ,  YOSHIKAWA MASANORI (東京工大 工)
Material： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
Volume： 55  Issue： 1  Page： 77-80  Publication year： Jan. 1989 
JST Material Number： F0268A  ISSN： 0912-0289  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： diamond tool ,...
Semi thesaurus term： diamond thin film

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JST classification (1)： Grinding  (QC03000R)

Reference (7)：

• 1) 小堺 隆, 戸倉 和, 吉川昌範 : 熱化学反応を応用したダイヤモンド加工の基礎研究, 昭和61年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, 第1分冊 (1986) 333.
• 2) A. P. Grigoriev & V. V. Kovalsky Working of Diamond with Metal. INDIAQUA. 39. 3. (1984) 47.
• 3) 佐藤 伸, 中田和夫, 志田正二 : 金属表面上における水素原子再結合反応, 日本化学雑誌, 76, 11, (1955) 1308.
• 4) 早坂〓吉 : 遊星歯車機構と伝達力学, 日刊工業新聞社 (1963) 12.
• 5) T. Evans & D. H. Sauter : Etching of Diamond Surfaces with Gases, Phil. Hag., 6. (1961) 429.

Terms in the title (4)： 熱化学反応 ,  ダイヤモンド ,  研磨機 ,  試作