Art

J-GLOBAL ID：200902098496201126   Reference number：91A0332609

Nanometer positioning using AC linear motor and rolling guide. (1st report). System set-up and coarse/fine positioning.

ACリニアモータと転がり案内を用いたナノメータ位置決め (第1報) システムの構成と粗・微動制御

Author (2)： FUTAMI SHIGERU (新技術事業団) ,  FURUTANI AKIHIRO (新技術事業団)
Material： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
Volume： 57  Issue： 3  Page： 556-561  Publication year： Mar. 1991 
JST Material Number： F0268A  ISSN： 0912-0289  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： positioning ,...

   To see more with JDream III (charged).   {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=91A0332609&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=F0268A") }}

JST classification (1)： Machine tool elements,jigs,chucks  (QC01020Z)

Reference (7)：

• 1) J. Nishizawa, K. Takahashi, W. Ichinose & S. Hirano Precise Position Control by Electromagnet, Bull. of JSME, 18,122, (1975) 819.
• 2) H. K. McCue : The Motion Control System for Large Optics Diamond Turning Machine, Proc. SPIE, 433, (1983) 68.
• 3) 森山茂夫, 原田達男, 高梨明紘 : 圧電素子アクチュエータ微動機構を備えた超精密X-Y移動台, 精密機械, 50, 4(1984)718.
• 4) 辻 道緒, 杉山定夫, 日戸興史 : X線露光装置用空気浮上式XYステージ, Omron Technics, 76(1985)285.
• 5) 新宅勝郎 : 精密長変位制御に関する実験的研究, システムと制御, 29, 9(1985)609.

Terms in the title (5)： Ac ,  リニアモータ ,  転がり案内 ,  ナノメータ ,  微動