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J-GLOBAL ID：200902101917745032   Reference number：01A1009097

Preparation of Pb(Zr_0.52TiO_0.48)O₃ Thin Films at Low-Temperature of Less than 400°C by Hydrothermal Treatment Following Sol-Gel Deposition.

ゾル-ゲル堆積後の水熱処理による低温400°以下でのPb(Zr_0.52Ti_0.48)O₃薄膜の作製

Author (3)： WEI Z (Osaka Univ., Osaka, JPN) ,  YAMASHITA K (Osaka Univ., Osaka, JPN) ,  OKUYAMA M (Osaka Univ., Osaka, JPN)
Material： Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Brief Communications & Review Papers)
Volume： 40  Issue： 9B  Page： 5539-5542  Publication year： Sep. 30, 2001 
JST Material Number： G0520B  ISSN： 0021-4922  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *ferroelectrics ,...
Semi thesaurus term： *PZT

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JST classification (2)： Ferroelectrics,antiferroelectrics and ferroelasticity  (BM05030B) ,  Oxide thin films  (BK14050P)

Reference (7)：

• 1) K. A. Vorotilov, M. I. Yanovskaya and I. E. Obvinzeva: Microelectron. Eng. 29 (1995) 41.
• 2) A. L. Kholkin, E. L. Coola, A. K. Tagantsev and N. Setter: Appl. Phys. Lett. 68 (1996) 2577.
• 3) Z. Wei, H. Xu, K. Yamashita and M. Okuyama: The 4th Int. Conf. on Thin Films Physics and Applications, Shanghai, May 2000.
• 4) Z. Wei, H. Xu, K. Yamashita and M. Okuyama: Jpn. J. Appl. Phys. 39 (2000) 4217.
• 5) W. Xu, L. Zheng, C. Lin and M. Okuyama: Integr. Ferroelectr. 12 (1996) 233.

Terms in the title (8)： ゾル-ゲル ,  堆積 ,  水熱処理 ,  低温 ,  Pb ,  O3 ,  薄膜 ,  作製