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J-GLOBAL ID：200902102325805276   Reference number：97A0597925

Angle Sensor with STM. (2nd Report). Atom Tracking and Yaw Measurement.

STMを用いた超精密角度センサ (第2報) 原子頂点の追跡とヨーイング測定

Author (2)： SAKUTA SHIGERU (東芝 生産技研) ,  KAMAL Y-T (MIT Lab. Manufacturing and Productivity, MA, USA)
Material： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
Volume： 63  Issue： 6  Page： 807-811  Publication year： Jun. 1997 
JST Material Number： F0268A  ISSN： 0912-0289  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： scanning tunneling microscope ,...
Semi thesaurus term： graphite ,...

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JST classification (1)： Measuring methods and instruments of length,area,cross section,volume,angle  (AD05020O)

Reference (8)：

• 佐久田茂. STMを応用した超精密角度センサ(第1報)-誤差解析とピッチング測定. 精密工学会誌. 1996, 62, 3, 403
• BINNING, G. Scanning Tunneling Microscopy. Surf. Sci. 1983, 126, 236
• POHL, D. W. "Tracking" Tunneling Microscopy. Rev. Sci. Instrum. 1988, 59, 6, 840
• PAROS, J. M. Flexure Pivots to Replace Knife Edge and Ball Bearing. Mach. Des. 1965, 37, 151
• KAIZUKA, H. Application of Capacitor Insertion Method to Scanning Tunneling Microscopes. Rev. Sci. Instrum. 1989, 60, 10, 3119

Terms in the title (7)： STM ,  超精密 ,  角度センサ ,  原子 ,  頂点 ,  追跡 ,  ヨーイング