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J-GLOBAL ID：200902102826352093   Reference number：97A0303383

Nanometer-scale Mechanical Processing of Muscovite Mica by Atomic Force Microscope.

原子間力顕微鏡によるマイカのナノメータスケールの機械加工

Author (4)： MIYAKE SHOJIRO (日本工大 工) ,  ISHII MASANORI (日本工大 大学院) ,  OTAKE TOSHIAKI (日本工大 大学院) ,  TSUSHIMA NAOTAKE (日本工大 大学院)
Material： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
Volume： 63  Issue： 3  Page： 426-430  Publication year： Mar. 1997 
JST Material Number： F0268A  ISSN： 0912-0289  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： mica ,...

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JST classification (1)： Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Reference (14)：

• EIGLER, D. M. Positioning Single Atoms with Scanning Tunneling Microscope. Nature. 1990, 334, 524
• MAMIN, H. J. Theromomechanical Writing with an Atomic Force Microscope Tip. Appl. Phys. Lett. 1992, 61, 1003
• 左光大和. 電気的に加工を制御した機械・化学作用複合ポリシングの研究. 精密工学会誌. 1995, 61, 4, 552
• 三宅正二郎. ナノメータースケールの薄膜形成技術. 精密工学会誌. 1993, 59, 4, 563
• KANEKO, R. Microtribology for Magnetic Recording. STLE Special Publi. 1990, sp-27, 31

Terms in the title (3)： 原子間力顕微鏡 ,  マイカ ,  機械加工