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J-GLOBAL ID：200902104411806075   Reference number：95A1013387

Atomic-scale formation of ultrasmooth surfaces on sapphire substrates for high-quality thin-film fabrication.

高品質薄膜作製のためのサファイア基板上の超平滑表面の原子スケール形成

Author (9)： YOSHIMOTO M (Tokyo Inst. Technol., Yokohama, JPN) ,  MAEDA T (Tokyo Inst. Technol., Yokohama, JPN) ,  OHNISHI T (Tokyo Inst. Technol., Yokohama, JPN) ,  KOINUMA H (Tokyo Inst. Technol., Yokohama, JPN) ,  ISHIYAMA O (Shimadzu Corp., Kyoto, JPN) ,  SHINOHARA M (Shimadzu Corp., Kyoto, JPN) ,  KUBO M (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  MIURA R (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  MIYAMOTO A (Tohoku Univ., Sendai, JPN)
Material： Applied Physics Letters  (Appl Phys Lett)
Volume： 67  Issue： 18  Page： 2615-2617  Publication year： Oct. 30, 1995 
JST Material Number： H0613A  ISSN： 0003-6951  CODEN： APPLAB  Document type： Article
Article type： 短報  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： surface structure ,...

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JST classification (1)： Surface structure of solids in general  (BK15010E)

Terms in the title (5)： 高品質 ,  薄膜作製 ,  サファイア基板 ,  平滑表面 ,  原子スケール