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J-GLOBAL ID：200902104446576110   Reference number：99A0601056

Preparation of Thin Dielectric Films by Plasma-Assisted Chemical Vapor Deposition of Hexamethyldisilazane.

ヘキサメチルジシラザンのプラズマ支援化学蒸着による誘電体薄膜の調製

Author (4)： IRIYAMA Y (Yamanashi Univ., Kofu, JPN) ,  NAGASE K (Kinki Univ., Higashi-Hiroshima, JPN) ,  HASEGAWA Y (Kinki Univ., Higashi-Hiroshima, JPN) ,  IHARA T (Kinki Univ., Higashi-Hiroshima, JPN)
Material： Journal of Photopolymer Science and Technology  (フォトポリマー懇話会誌)
Volume： 12  Issue： 1  Page： 39-44  Publication year： 1999 
JST Material Number： L0202A  ISSN： 0914-9244  CODEN： JSTEEW  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *silazanes ,...
Semi thesaurus term： バリア

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JST classification (2)： Applications of plasma  (BJ02110K) ,  Thin films of other inorganic compounds  (BK14060A)

Substance index (1)： Hexamethyldisilazane

Reference (8)：

• 1). A. Lopetz, Jr. and P. C. Richardson, IEEE Trans.,BME-16 (1), 99 (1969).
• 2). G. Grundmeier, M. Stratmann, Ber. Bunsen-Ges., 99, 1387 (1995).
• 3). M. Fujishima, C. Funakoshi, Y. Yoshida, T.Yamashita, K. Kashiwagi, and K. Ishihara,Kobunshi Ronbunshu, 52, 373 (1995).
• 4). F. Fracassi, R. d'Agostino, and G. Bruno,Plasmas Polym. ,1, 3 (1996).
• 5). M. -R. Yang, K. -S. Chen, J. -L. He, Mater. Chem.Phys., 48, 71 (1997).

Terms in the title (4)： ヘキサメチルジシラザン ,  プラズマ支援化学蒸着 ,  誘電体薄膜 ,  調製