Art

J-GLOBAL ID：200902105523819567   Reference number：02A0729208

Electron-beam-induced deposition with carbon nanoutube emitters.

炭素ナノチューブエミッタを利用した電子ビーム誘起堆積

Author (3)： DONG L (Nagoya Univ., Nagoya, JPN) ,  ARAI F (Nagoya Univ., Nagoya, JPN) ,  FUKUDA T (Nagoya Univ., Nagoya, JPN)
Material： Applied Physics Letters  (Appl Phys Lett)
Volume： 81  Issue： 10  Page： 1919-1921  Publication year： Sep. 02, 2002 
JST Material Number： H0613A  ISSN： 0003-6951  CODEN： APPLAB  Document type： Article
Article type： 短報  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： nanotube ,...
Semi thesaurus term： 電子ビーム誘起堆積

   To see more with JDream III (charged).   {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=02A0729208&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=H0613A") }}

JST classification (2)： Techniques and equipment of thin film deposition  (BK14020I) ,  Thermoionic emission and field emission  (BM09020S)

Terms in the title (3)： 炭素ナノチューブ ,  エミッタ ,  電子ビーム誘起堆積