Art

J-GLOBAL ID：200902107956764565   Reference number：01A1029112

Fe and Fe-N films sputter deposited at liquid nitrogen temperature.

液体窒素温度でスパッタ蒸着したFeおよびFe-N薄膜

Author (3)： SEIKO W (Tokyo Inst. Polytechnics, Kanagawa, JPN) ,  HOSHI Y (Tokyo Inst. Polytechnics, Kanagawa, JPN) ,  SHIMIZU H (Niigata Univ., Niigata, JPN)
Material： Journal of Magnetism and Magnetic Materials  (J Magn Magn Mater)
Volume： 235  Issue： 1/3  Page： 196-200  Publication year： Oct. 2001 
JST Material Number： H0644A  ISSN： 0304-8853  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Netherlands (NLD)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *Iron ,...

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JST classification (1)： Magnetic properties of metals  (BM06040T)

Terms in the title (4)： 液体窒素温度 ,  スパッタ蒸着 ,  Fe ,  薄膜