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J-GLOBAL ID：200902109969965228   Reference number：01A1009108

Preparation and Properties of SrBi₂Ta₂O₉ Ferroelectric Thin Films Using Excimer UV Irradiation and Seed Layer.

エキシマUV照射とシード層を用いたSrBi₂Ta₂O₉強誘電体薄膜の作製と特性

Author (2)： HAYASHI T (Shonan Inst. Technol., Kanagawa, JPN) ,  TOGAWA D (Shonan Inst. Technol., Kanagawa, JPN)
Material： Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Brief Communications & Review Papers)
Volume： 40  Issue： 9B  Page： 5585-5589  Publication year： Sep. 30, 2001 
JST Material Number： G0520B  ISSN： 0021-4922  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *ferroelectrics ,...
Semi thesaurus term： シード層

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JST classification (2)： Ferroelectrics,antiferroelectrics and ferroelasticity  (BM05030B) ,  Oxide thin films  (BK14050P)

Reference (6)：

• 1) T. Hayashi, H. Takahashi and T. Hara: Jpn. J. Appl. Phys. 35 (1996) 4952.
• 2) T. Hayashi, T. Hara and H. Takahashi: Jpn. J. Appl. Phys. 36 (1997) 5900.
• 3) K. Kato: Jpn. J. Appl. Phys. 37 (1998) 5178.
• 4) K. Nishizawa, T. Miki, K. Suzuki and K. Kato: Abstr. 1st Asian Meet. Electroceramic and The 20th Electronics Division Meeting (2000) p. 48.
• 5) T. Tsuchiya, A. Watanabe, Y. Imai, H. Niino, I. Yamaguchi, T. Manabe, T. Kumagai and S. Mizuta: Jpn. J. Appl. Phys. 39 (2000) L866.

Terms in the title (5)： エキシマ ,  UV照射 ,  シード層 ,  強誘電体薄膜 ,  作製