Art

J-GLOBAL ID：200902110497948667   Reference number：95A0953196

Ultra-fine electrode fabrication techniques and applications to GHz-range surface wave transducers.

超微細加工プロセス技術とGHz帯弾性表面変換器

Author (3)： MEGURO TOSHIYASU (東北大) ,  CHO YASUO (山口大 工) ,  YAMANOUCHI KAZUHIKO (東北大)
Material： 日本音響学会誌  (Journal of the Acoustical Society of Japan)
Volume： 51  Issue： 10  Page： 769-773  Publication year： Oct. 1995 
JST Material Number： G0162A  ISSN： 0369-4232  CODEN： NIOGAH  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： surface acoustic wave device ,...
Semi thesaurus term： すだれ状電極

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JST classification (2)： Acoustic transducer and other acoustic equipments  (BB03060N) ,  Surface acoustic wave devices  (NC03120T)

Reference (7)：

• WHITE, R. M. Direct piezo-electric coupling to surface elastic waves. Appl. Phys. Lett. 1965, 7, 314,316
• 山之内和彦. すだれ状電極による圧電板に対する弾性表面波の励振について. 東北大通研120回音響工学研資. 1965
• POULSEN, R. G. Plasma etching in integrated circuit manufacture-A review. J. Vac. Sci. Technol. 1977, 14, 266
• 山之内和彦. 電子ビーム露光微細加工技術を用いた5GHz帯弾性表面波変換器. 音講論集1-7-3. 1984, 565-566
• 山之内和彦. 電子ビーム露光加工技術を用いた5GHz(基本波動作)弾性表面波フィルタの特性. 音講論集2-2-11. 1985, 643-644

Terms in the title (5)： 微細加工 ,  プロセス ,  GHz ,  弾性 ,  変換器