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J-GLOBAL ID：200902110964671240   Reference number：94A0179163

ESR study of CVD diamond thin films.

CVDダイヤモンド薄膜のESR評価

Author (9)： NAKAMURA YOSHINOBU (東海大 工) ,  SHO YOSHIYUKI (東海大 工) ,  IZUMI TOMIO (東海大 工) ,  DEGUCHI MASAHIRO (松下電器産業 中研) ,  KITABATAKE MAKOTO (松下電器産業 中研) ,  HIRAO TAKASHI (松下電器産業 中研) ,  MORI YUSUKE (大阪大 工) ,  HATTA AKIMITSU (大阪大 工) ,  HIRAKI AKIO (大阪大 工)
Material： 応用物理学会学術講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Annual Meeting. Japan Society of Applied Physics)
Volume： 54th  Issue： 2  Page： 416  Publication year： Sep. 1993 
JST Material Number： Y0055A  Document type： Proceedings
Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Terms in the title (4)： CVD ,  ダイヤモンド薄膜 ,  ESR ,  評価