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J-GLOBAL ID：200902115211433594   Reference number：02A0726785

A Study on Electrochemical Machining Method in Ultrapure Water. Electrochemical Machining of Cathode Surface.

超純水のみによる電気化学的加工法の研究 陰極表面における加工現象

Author (6)： MORI YUZO (大阪大 大学院工学研究科) ,  GOTO HIDEKAZU (京都工繊大 工芸) ,  HIROSE KIKUJI (大阪大 大学院工学研究科) ,  KOBATA ITSUKI (大阪大 大学院工学研究科) ,  TOUMA YASUSHI (荏原総合研) ,  NISHIMURA TAKETO (大阪大 大学院工学研究科)
Material： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
Volume： 68  Issue： 9  Page： 1241-1245  Publication year： Sep. 05, 2002 
JST Material Number： F0268A  ISSN： 0912-0289  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *electrochemical reaction ,...
Semi thesaurus term： *negative electrode

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JST classification (2)： Special machining  (QC04000Y) ,  Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Reference (11)：

• 森勇蔵. 超純水中の水酸基による加工方法
• MORI, Y. Development of Ultra-Precision and Ultra-Clean Electro-Chemical Processing Method Ushing Hydroxyl Ion in Ultrapure Water. Precision Science and Technology for Perfact Surfaces. 1999, 237
• 森勇蔵. 超純水による電気化学的加工法の研究-触媒反応を利用した超純水中のOH^-イオン密度の増加方法-. 精密工学会誌. 2001, 67, 6, 932
• 森勇蔵. 電解加工方法及び装置
• 後藤英和. 超純水のみによる電気化学的加工法の研究-水素終端化されていないSi(001)表面原子とOHとの反応素過程-. 精密工学会誌. 2001, 67, 8, 1321

Terms in the title (5)： 純水 ,  電気化学的加工 ,  研究 ,  陰極 ,  現象