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J-GLOBAL ID：200902181368584831   Reference number：01A0851866

A Study on Electrochemical Machining Method in Ultrapure Water. Etching Process of Si(001) Surface Atom by Hydroxyl Function.

超純水のみによる電気化学的加工法の研究 水素終端化されていないSi(001)表面原子とOHとの反応素過程

Author (5)： GOTO HIDEKAZU (京都工繊大 工芸) ,  HIROSE KIKUJI (大阪大 大学院工学研究科) ,  KOBATA ITSUKI (大阪大 大学院工学研究科) ,  TOUMA YASUSHI (荏原総合研) ,  MORI YUZO (大阪大 大学院工学研究科)
Material： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
Volume： 67  Issue： 8  Page： 1321-1326  Publication year： Aug. 05, 2001 
JST Material Number： F0268A  ISSN： 0912-0289  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *ultrapure water ,...

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JST classification (1)： Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Reference (13)：

• 森勇蔵. 半導体と水酸イオンの電気化学反応及び超純水による加工への応用(第1報). 1998年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集. 1998, 443
• 森勇蔵. 金属・半導体と水酸イオンの電気化学反応及び超純水による加工への応用(第2報). 1999年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集. 1999, 421
• 森勇蔵. 金属・半導体と水酸イオンの電気化学反応及び超純水による加工への応用(第3報). 1999年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集. 1999, 571
• MORI, Y. Development of Ultra-Precision and Ultra-Clean Electro-Chemical Processing Method Using Hydroxyl Ion in Ultrapure Water. Precision Science and Technology for Perfect Surfaces. 1999, 3, 237
• 森勇蔵. 超純水のみによる電気化学的加工法の研究 - 触媒反応を利用した超純水中のOH^-イオン密度の増加方法 -. 精密工学会誌. 2001, 67, 6, 932

Terms in the title (7)： 純水 ,  電気化学的加工 ,  研究 ,  水素終端 ,  Si ,  原子 ,  素過程