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J-GLOBAL ID：200902120019985595   Reference number：98A0653783

Scanning Nonlinear Dielectric Microscope with Submicron Resolution.

サブミクロン分解能の走査非線形誘電顕微鏡

Author (3)： CHO Y (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  MATSUURA K (Yamaguchi Univ., Ube, JPN) ,  KUSHIBIKI J (Tohoku Univ., Sendai, JPN)
Material： Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Brief Communications & Review Papers)
Volume： 37  Issue： 5B  Page： 3132-3133  Publication year： May. 1998 
JST Material Number： G0520B  ISSN： 0021-4922  Document type： Article
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *scanning probe microscope ,...
Semi thesaurus term： PZT

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JST classification (1)： Measuring techniques and equipments of dielectric properties  (BM05020Q)

Reference (3)：

• 1) Y. Cho, A. Kirihara and T. Saeki: Trans. Inst. Electron. Inf. & Commun. Eng. <b>J.78-C</b> (1995) 593 [in Japanese].
• 2) Y. Cho, A. Kirihara and T. Saeki: Rev. Sci.Instrum. 67 (1996) 2297.
• 3) Y. Cho, S. Atsumi and K. Nakamura: Jpn. J. Appl. Phys. 36 (1997) 3152

Terms in the title (5)： サブ ,  分解能 ,  走査 ,  非線形 ,  顕微鏡